電子顕微鏡試料作成装置類 試料準備室（実験実習機器センター2 1階）内線：2602 一覧に戻る
担当職員：阿久津（2620、8629） 副担当：
利用法
| 1. | 機器の操作は、原則として利用者が行なうこととしますが、初めての方には担当職員が機器操作の指導をしますので申し出てください。 |
| 2. | 機器に異常が生じた時には、直ちに担当職員まで連絡してください。 |
| 3. | 装置使用後は必ず使用簿に必要事項を記載してください。 |
ナイフメーカー（LKB-7800）
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臨界点乾燥装置（日立 HCP-2）
| 使用ガス | ： | 炭酸ガス |  |
| チャンバー | ： | ステンレス | |
| 圧力 | ： | 150kg/cm2 | |
| 容量 | ： | 99.2 mL | |
| 安全弁作動圧力 | ： | 180kg/cm2 自動リセット | |
| 温度設定範囲 | ： | －10 ～ 40℃まで任意設定可能。 ただし冷却は室温より－10℃まで |
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| 加熱方式 | ： | カートリッジヒーター | |
| 冷却方式 | ： | サーモモジュール、ファン | |
| 排出ガス流量設定範囲 | ： | 0 ～ 4 L/min 任意設定可能 |
臨界点乾燥装置（日本電子 JCPD-3）
| 使用ガス | ： | 炭酸ガス |  |
| チャンバー | ： | 耐水圧テスト 180kg/cm2 | |
| 圧力 | ： | 100kg/cm2 | |
| 容量 | ： | 100 mL | |
| 排出バルブ用ヒータ | ： | ＡＣ100Ｖ 50/60Hz 150Ｗ |
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| ： | 温度自動調節 40 ～ 60℃ | ||
| ： | 温度フューズ 120℃付 | ||
| 安全弁作動圧力 | ： | 110 ～ 120kg/cm2 |
凍結点乾燥装置（EIKO ID-2）
| 到達圧力 | ： | 5×10-2 Torr |  |
| ステージ温度 | ： | -10 ～ 30 ℃ | |
| 試料台サイズ | ： | 60mm径 |
イオンスパッタ装置（日立 E-1030）
| 放電方式 | ： | ダイオード放電マグネトロン形（電・磁場直交形） |  |
| 電極形状 | ： | 対向平行円板（マグネット埋め込み） | |
| 電圧 | ： | 最高電圧 DC 0.4kV | |
| 電流 | ： | 最大電流 DC 0～35mA | |
| コーティングレート | ： | Pt-Pdターゲット： 7.5nm/min（参考値） Auターゲット： 12nm/min（参考値） Au-Pdターゲット： 10nm/min（参考値） |
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| 圧力設定範囲 | ： | 7 ～ 20Pa | |
| 時間設定範囲 | ： | 5 ～ 300sec | |
| 試料 最大直径 | ： | 55mm | |
| 最大高さ | ： | 20mm |
ポリマナイザー（サクラ NEM-210）
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卓上遠心機（サクラ NEM-210）
ドラフト（島津理化 CBZ-Sc9）
| 開口幅 | ： | 700mm | |
| 開口高さ | ： | 最大 800mm |